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国家自然科学基金(90607002)
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秦明
黄庆安
崔岩
黄晓东
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秦明
供职机构:东南大学电子科学与工程学院
研究主题:风速风向传感器 MEMS 风速传感器 微机械 风速风向
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黄庆安
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
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崔岩
供职机构:大连理工大学
研究主题:PZT薄膜 大气光学 天空 微力传感器 压电
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黄晓东
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 栅氧化层 衬底 微波功率 输出功率
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王斌
供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:电容式压力传感器 单片集成 MEMS 接口电路 接口电路设计
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沈广平
供职机构:东南大学
研究主题:风速风向传感器 MEMS 温差 风速计 微机械
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王立鼎
供职机构:北京四方继保自动化股份有限公司
研究主题:微流控芯片 微机电系统 精密齿轮 精密加工技术 齿轮
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吴剑
供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:MEMS 风速风向传感器 温差 风速计 风向传感器
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夏劲松
供职机构:大连理工大学
研究主题:干法刻蚀 硅尖 湿法腐蚀 各向异性腐蚀 压电
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黄见秋
供职机构:东南大学
研究主题:湿度传感器 电容式湿度传感器 栅氧化层 电容式 衬底
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