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国家自然科学基金(60407013)

作品数：5 被引量：11H指数：2
相关作者：王跃林熊斌冯飞杨广立李珂更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院更多>>
发文基金：国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>

领域

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地区

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共 8 条 记 录，以下是 1-8
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：色谱柱 热导检测器 固定相 微机电系统 气相色谱柱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨广立
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 红外探测器阵列 牺牲层 阵列器件 噪声等效温差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李珂
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：焦平面阵列 温度补偿 噪声等效温差 MEMS技术 高灵敏度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫许
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：焦平面阵列 液压执行器 红外吸收 红外探测器 光型
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨恒昭
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：热电堆 干法刻蚀 红外吸收 微机械热电堆 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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