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国家自然科学基金(60572022)

作品数：5 被引量：21H指数：3
相关作者：吴亚明徐静高翔刘玉菲赵本刚更多>>
相关机构：中科院上海微系统与信息技术研究所中国科学院中国科学院研究生院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电气工程自动化与计算机技术理学更多>>

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共 7 条 记 录，以下是 1-7
徐静
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 微机电系统 光学电流传感器 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴亚明
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉菲
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微电子机械系统 光学电流传感器 苯并环丁烯 高灵敏度 气密性封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵本刚
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微电子机械系统 光学电流传感器 高灵敏度 光电隔离 温度补偿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高翔
供职机构：浙江大学
研究主题：催化剂 烟气 选择性催化还原 烟气脱硫 太阳能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许晓昕
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：MEMS 微机电系统 湿法刻蚀 湿法 深刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
穆参军
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 光学扫描 大尺寸 电磁驱动 光学电流传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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