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国际科技合作与交流专项项目(2010DFAL2590)

作品数：1 被引量：8H指数：1
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领域

  • 1个机械工程
  • 1个电子电信
  • 1个电气工程
  • 1个自动化与计算...
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主题

  • 1个单片
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  • 1个地质探矿
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机构

  • 1个中国电子科技...

资助

  • 1个国家高技术研...
  • 1个国际科技合作...

传媒

  • 1个电子工艺技术
  • 1个微纳电子技术
  • 1个2003年惯...
  • 1个第五届全国微...
  • 1个中国微米纳米...
  • 1个2010(第...
  • 1个中国微米、纳...
  • 1个2003年惯...
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地区

  • 1个河北省
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何洪涛
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 硅 芯片 微电子机械
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