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厦门市科技计划项目(3502Z20031089)
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郭先清
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厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院萨本栋微机电研究中心
研究主题:微机电系统 MEMS 射频MEMS开关 牺牲层 氮化硅薄膜
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厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院
研究主题:微机电系统 MEMS 磁控溅射 射频MEMS开关 钙钛矿
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厦门大学
研究主题:实证研究 高等教育 企业 商业银行 功能模块
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