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国家自然科学基金(61221004)
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陈杰
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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西北工业大学
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研究主题:电子束光刻 X射线光刻 非挥发性存储器 X射线 衍射光栅
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