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国家自然科学基金(69976035)

作品数：3 被引量：17H指数：2
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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中国科学院微电子中心
研究主题：集成电路 电子束曝光 电子束 专用集成电路 微细加工
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