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中国科学院科研装备研制项目(YZ200755)
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夏洋
李超波
刘邦武
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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嘉兴科民电子设备技术有限公司
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研究主题:磁性 X 性能研究 N 光致发光
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