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国家科技重大专项(2009ZX01031-002-008-002)

作品数：2 被引量：1H指数：1
相关作者：阎跃鹏王宏飞牟荣增刘荣江郭桂良更多>>
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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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