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国家自然科学基金(s11075114)

作品数:1 被引量:0H指数:0
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学更多>>

领域

  • 1个电子电信
  • 1个理学

主题

  • 1个等离子
  • 1个等离子体
  • 1个等离子体源
  • 1个电学
  • 1个电学性质
  • 1个栅介质
  • 1个退火
  • 1个微结构
  • 1个螺旋波
  • 1个刻蚀
  • 1个火箭
  • 1个火箭推进
  • 1个高K材料
  • 1个高K栅介质
  • 1个NITROG...
  • 1个SIC
  • 1个TA2O5
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  • 1个6H-SIC
  • 1个AR

机构

  • 1个苏州大学
  • 1个中国科学院
  • 1个江苏省薄膜材...

作者

  • 1个吴雪梅
  • 1个葛水兵
  • 1个金成刚
  • 1个诸葛兰剑
  • 1个董尧君
  • 1个陈息林
  • 1个余涛
  • 1个柏洋
  • 1个赵岩

传媒

  • 1个功能材料
  • 1个材料导报
  • 1个苏州大学学报...
  • 1个Plasma...
  • 1个微纳电子技术
聚类工具0