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国家自然科学基金(51105370)

作品数：2 被引量：14H指数：2
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领域

  • 1个化学工程
  • 1个金属学及工艺
  • 1个机械工程
  • 1个电子电信

主题

  • 1个单晶
  • 1个单晶硅
  • 1个电子制造
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  • 1个入射
  • 1个数值模拟
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  • 1个微电子制造
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机构

  • 1个国防科学技术...

作者

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传媒

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国家自然科学基金(91023042)
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