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国家自然科学基金(s10975105)

作品数:5 被引量:2H指数:1
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学电子电信核科学技术更多>>

领域

  • 7个电子电信
  • 6个理学
  • 3个核科学技术
  • 3个一般工业技术
  • 1个金属学及工艺
  • 1个机械工程
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个文化科学

主题

  • 7个DUAL-F...
  • 6个SIC
  • 6个AR
  • 6个ETCHIN...
  • 5个6H-SIC
  • 5个LOW-FR...
  • 4个掺杂
  • 3个等离子体
  • 3个溅射
  • 3个SI
  • 3个LOW-K
  • 3个磁控
  • 3个F
  • 3个SUBSTR...
  • 3个DISCHA...
  • 2个等离子
  • 2个电学
  • 2个退火
  • 2个共掺
  • 2个共掺杂

机构

  • 5个苏州大学
  • 2个复旦大学
  • 1个大连理工大学
  • 1个上海交通大学
  • 1个苏州市职业大...
  • 1个中国科学院
  • 1个盐城工学院
  • 1个中国科学技术...
  • 1个新疆工业高等...
  • 1个江苏省薄膜材...
  • 1个新疆工程学院

作者

  • 3个宁兆元
  • 2个徐轶君
  • 2个江美福
  • 2个胡佳
  • 2个辛煜
  • 2个叶超
  • 1个毛明
  • 1个袁强华
  • 1个张树宇
  • 1个杜杰
  • 1个王培君
  • 1个邢振宇
  • 1个陈牧笛
  • 1个吴雪梅
  • 1个周海洋
  • 1个孙恺
  • 1个卫永霞
  • 1个张成彬
  • 1个柯博
  • 1个温晓辉

传媒

  • 7个Plasma...
  • 4个Chines...
  • 3个物理学报
  • 3个苏州大学学报...
  • 1个物理
  • 1个强激光与粒子...
  • 1个功能材料
  • 1个材料导报
  • 1个物理与工程
  • 1个扬州大学学报...
  • 1个科学技术与工...
  • 1个微纳电子技术
  • 1个材料科学与工...
  • 1个西华大学学报...
  • 1个真空科学与技...
  • 1个功能材料信息
7 条 记 录,以下是 1-7
共1页<1>
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