广东省重大科技专项(2010A080802006)
- 作品数：3 被引量：4H指数：2
- 相关作者：甘志银关国坚陈倩翌更多>>
- 相关机构：华中科技大学广东昭信半导体装备制造有限公司更多>>
- 发文基金：广东省重大科技专项广东省粤港关键领域重点突破项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术动力工程及工程热物理机械工程更多>>
- 基于单片机的双波长红外测温结构设计
- 2012年
- 为了解决双波长测温不同波长的变换和精确定位测量的问题,设计了一种基于单片机的变换结构,利用电机匀速反馈控制电路和单片机周期捕获功能,准确跟踪和定位采样位置。基于这种结构提出了一种双波长测温法的暗电流电压修正方法,大大提高了测量的精度。通过实验使用设计的测量结构拟合出双波长温度测量函数,测量精度在1℃之内。
- 关国坚甘志银
- 关键词：反馈控制单片机
- 大尺寸MOCVD加热器的模拟仿真被引量：2
- 2011年
- 本文运用流体与热场耦合的有限元方法对BDS(缓冲分布喷射式)腔体结构、大尺寸石墨盘、电阻片式加热器的MOCVD反应腔体进行高温环境的稳态建模仿真,得到石墨盘表面的温度分布,通过对仿真曲线及云图的分析,对加热器进行了改进和优化设计,提出一种改动小、容易实现的改进方法,使温度均匀性在±1K以的温度有效区域显著扩大。还模拟了此种加热器在不同温度段对石墨盘表面加热的均匀性。并对通过改变入口气体流量模拟多种不同的流场环境,验证了改进后的加热器只需调整各区的加热功率就可以大范围的适应不同流场环境,给不同的晶体生长工艺提供均匀的温度边界条件。
- 陈倩翌甘志银胡少林
- 关键词：MOCVD温度有限元模拟
- 基于红外测温法的MOCVD工艺温度分析被引量：2
- 2012年
- 为了得到MOCVD工艺生长过程中石墨盘的温度分布,提出了基于红外测温法的非接触无损测量方法,使用自主研发的双波长红外测量仪,能够得到石墨盘的径向和圆周温度分布情况,对MOCVD的加热炉结构改进和工艺过程控制有很大的指导意义。
- 关国坚甘志银
- 关键词：温度场分布
