国家自然科学基金(60672014)
- 作品数:5 被引量:6H指数:2
- 相关作者:乐孜纯刘魏董文张明全必胜更多>>
- 相关机构:浙江工业大学中国科学院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金浙江省自然科学基金杰出青年团队项目浙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域:机械工程理学更多>>
- X射线长组合折射透镜的理论和实验研究被引量:2
- 2010年
- 结合矩阵光学方法与衍射理论,得到研究X射线长组合折射透镜光学性能(包括焦斑尺寸、有效光束半径和强度增益等)的理论方法。设计并采用LIGA技术实际制作了顶点曲率半径50μm的抛物面型PMMA材料长X射线组合折射透镜,在北京同步辐射装置(BSRF)的形貌站(4W,1A)对其在8keV时的聚焦性能进行了实际测试。给出了模拟计算和实测结果,并进行了分析讨论,实测结果显示了良好的聚焦效果,理论与实验结果基本吻合。
- 乐孜纯董文刘魏张明全必胜梁静秋朱佩平伊福廷黄万霞
- 关键词:光学器件
- 抛物面型X射线组合折射透镜聚焦性能的理论与实验研究被引量:3
- 2010年
- 结合衍射理论和矩阵光学方法得出抛物面型X射线组合折射透镜的光学性能指标(包括其焦距的严格表达式、薄透镜近似的判定准则、透过率和有效孔径,以及极限聚焦光斑尺寸等).采用X射线深度光刻技术实际制作了PMMA材料抛物面型X射线组合折射透镜并给出了工艺测试结果.最后在北京同步辐射装置(BSRF)上,实际构建了基于3种不同结构参数的PMMA材料抛物面型X射线组合折射透镜的微束聚焦实验系统.并实际测试了其聚焦性能,均获得了良好的聚焦效果,给出实测结果并对实测结果进行了分析和讨论.
- 乐孜纯董文刘魏张明梁静秋全必胜刘恺梁中翥朱佩平伊福廷黄万霞
- 关键词:X射线光学
- 制作工艺误差对X射线组合折射透镜聚焦性能影响研究被引量:1
- 2010年
- 本文主要介绍对X射线组合折射透镜的制作工艺误差对其聚焦性能影响的研究结果.首先给出采用深度X射线光刻技术制作的PMMA材料圆柱面型X组合折射透镜的工艺测试结果,得出制作工艺误差值,定性分析制作工艺误差对X射线组合折射透镜聚焦性能的影响.然后根据实际的制作工艺误差建模,给出详尽的理论分析和定量的理论模拟结果.最后在北京同步辐射装置(BSRF)上,构建基于PMMA材料的圆柱面型X射线组合折射透镜的微束聚焦实验系统,实际测试了有明显工艺误差和尽量消除工艺误差的两种X射线组合折射透镜的聚焦性能,给出实测结果并对实测结果进行分析和讨论.
- 乐孜纯张明董文全必胜刘魏刘恺
- 抛物面型X射线组合折射透镜光学性能分析被引量:1
- 2009年
- 抛物面型X射线组合折射透镜是一种适用于硬X射线波段的新型光学元件。由于采用抛物面型,可以消除球差,因而能够产生亚微米尺度焦斑并具有更好的成像性能。本文给出了旋转轴对称抛物面型X射线组合透镜的理论研究成果。首先,利用矩阵光学方法,推导了其精确的焦距公式,得到了薄透镜判定准则;其次,根据衍射理论,推导出焦点处的光强分布,得到其极限焦斑大小。最后,本文还给出了透过率和有效孔径的理论公式。针对用Al、Be、PMMA三种材料制作的抛物面型X射线组合折射透镜,本文给出了各个光学性能指标的数值计算结果。
- 乐孜纯刘魏
- 关键词:光学性能
- 背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜被引量:1
- 2009年
- 在分析沙漏状X射线组合折射透镜(X-ray compound refractive lens,XCRL)的折射聚焦理论的基础上,设计并利用背面曝光技术制作了SU-8材料的沙漏状XCRL,该技术在保证图形准确性的同时减少了工艺步骤,使制作更加简便易行.在10keV单色X射线辐射下,对制作的透镜进行了聚焦性能的实验测试,结果表明,所制作的透镜较好地实现了一维聚焦.
- 朱艳青梁静秋梁中翥黄鑫华乐孜纯伊福廷侯凤杰黄万霞董文王维彪王志立崔乃迪
- 关键词:SU-8