-
高宏
-
-
- 所属机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
- 所在地区:北京市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 薛实福
- 作品数:56被引量:97H指数:5
- 供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
- 研究主题:集成电路 力传感器 原子力显微镜 显微镜 线宽
- 李庆祥
- 作品数:210被引量:1,373H指数:14
- 供职机构:清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
- 研究主题:集成电路 柔性铰链 微装配 母盘 近场光存储
- 严普强
- 作品数:61被引量:446H指数:10
- 供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
- 研究主题:传感器 桥梁 振动测量 振动 低频振动
- 刘永生
- 作品数:6被引量:13H指数:3
- 供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
- 研究主题:力传感器 原子力显微镜 AFM 显微镜 微机械加工
- 于水
- 作品数:25被引量:160H指数:4
- 供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
- 研究主题:力传感器 原子力显微镜 显微镜 自动调焦 柔性铰链