李庆祥
作品数: 210被引量:1362H指数:14
  • 所属机构:清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家重点基础研究发展计划

相关作者

李玉和
作品数:129被引量:936H指数:12
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:柔性铰链 微装配 近场光存储 深亚微米 刻录机
薛实福
作品数:56被引量:96H指数:5
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:集成电路 力传感器 原子力显微镜 显微镜 线宽
白立芬
作品数:45被引量:315H指数:9
供职机构:清华大学
研究主题:柔性铰链 动物纤维 图像处理 细度测量 集成电路
訾艳阳
作品数:318被引量:1,363H指数:20
供职机构:西安交通大学
研究主题:故障诊断 特征提取 自适应 故障特征 旋转机械
徐毓娴
作品数:51被引量:319H指数:9
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:显微镜 相移干涉术 力传感器 原子力显微镜 图像处理
移相式激光偏振仪的原理及误差分析被引量:5
1992年
本文介绍了移相式激光偏振仪的原理及误差分析。在塞纳蒙补偿器系统中,通过改变检偏器方位角对输出光强进行移相,然后测量输出光强并作傅立叶分析,就可精确获得被测件的相位延迟量。
高宏李庆祥薛实福马东海
关键词:移相式
运动偏心对圆光栅副测量的影响及误差补偿被引量:28
2005年
研究了一种由长光栅演变而来的新型圆光栅副存在运动偏心时的正常工作条件和由运动偏心所造成测量误差的补偿方法。阐述了该圆光栅的组成结构和工作原理;推导了其莫尔条纹曲线的表达式;着重研究了运动偏心对圆光栅测量影响的分析方法,即莫尔条纹随运动偏心变化的定量分析方法;推导了由于偏心引起的测量误差的补偿公式;通过实例分析证明,对精密测量圆光栅进行偏心误差补偿是十分必要的。研究结果表明,偏心较小时,由于不影响系统正常工作,因此会掩盖这种误差的存在,通过理论分析及补偿可确保这种新型圆光栅的测量精度。
郭阳宽李玉和李庆祥巩娟陈张玮
关键词:运动偏心误差补偿
触针对LSI生产中膜层台阶表面测量的影响
1995年
接触式台阶测量仪是LSI生产工艺中的重要检测仪器,其中,触针是关键部件之一。本文叙述了触针对膜层台阶表面测量的影响,包括:触针的形状、尺寸对表面形貌测量中的水平分辨力的限制;选择合适的触针测量力及针尖形状,实现对样本表面的无损测量。同时,本文推导出相应的公式,为提高触针测量的精度提供了理论依据。
王云庆李庆祥薛实福周兆英
关键词:集成电路
原子力显微镜的力传感器被引量:4
1995年
原子力显微镜已成为人们观测和研究物体微观世界的强有力工具,由悬臂梁与探针集成件(Cantileverstylus)组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件,它的结构和性能直接影响原子力显微镜的性能、测量分辨率和测试图象质量。本文着重介绍了原子力显微镜基本工作原理、对力传感器的要求、力传感器的结构和设计、力传感器的微机械加工以及其主要性能测试等问题。
薛实福刘永生李庆祥高宏徐毓娴于水
关键词:原子力显微镜探针力传感器
线宽测量中的几个问题
王伯雄薛实福李庆祥
关键词:大规模集成电路
微装配技术的发展现状及关键技术
微机械电子技术的快速发展及其系统结构的日趋复杂,促进了微机电系统中微装配技术的日益蓬勃发展.因此对微装配和微操作的研究日益引起国内外研究人员的重视.本文详细地综述了近年来微装配技术的国内外发展现状以及其发展过程中面临的一...
段瑞玲李庆祥李玉和
关键词:微机电系统微装配微夹持器显微视觉
文献传递
光电探测器前级放大电路设计与研究被引量:29
2005年
深亚微米近场飞行头飞行高度测试是近场光存储的关键技术之一。为了能精确测试近场飞高变化,检测系统需要具有很高灵敏度和分辨力,而前级放大电路设计是检测系统设计关键。本文对光电探测器前级放大电路设计、讨论,并进行了实验分析;提出了实用化的电路设计形式以及注意事项。
陈张玮李玉和李庆祥王亮段瑞玲
关键词:微电流光电探测器近场光存储
微细图形尺寸测量与图像处理实验系统的开发被引量:5
2001年
为适应教学改革的需要,加大实验课程在专业课教学中的比重,开发完成了微细图形与图像处理实验系统及配套的电子教案。系统采用显微镜一CCD—图像采集一计算机的方案,用Visual C++开发完成了包括图形尽寸测量与图像处理两个主要功能的实验软件,其中特别设计的Matlab接口使学生不必掌握C++即可用Matlat方便地进行实验。系统界面友好、交互性强,有利于培养学生实验动手能力和创造性。
白立芬于水李庆祥李罗生
关键词:图像处理电子教案
表面三维形貌非接触测量仪
本发明涉及一种表面三维形貌非接触测量仪,属光学测量仪器,用于测量表面微观几何形貌及粗糙度。本测量仪主要由光源,起偏器,分光棱镜,显微物镜,1/4波片,检偏器,光电面阵探测器等组成,与已有技术相比,本发明的优点在于测量分辨...
薛实福李庆祥高宏严普强
文献传递
HRTF在虚拟3D立体声中的应用及实验被引量:13
2001年
为了探讨虚拟 3D立体声技术在实践中的应用 ,依据人体头部相关传递函数 (HRTF)的原理 ,采用美国 MIT媒体实验室测得的 KEMAR假人头 HRTF数据 ,利用多媒体计算机合成了两通道虚拟 3D立体声。通过对 HRTF频谱的分析 ,提出了改善合成效果的相应措施。实验结果证实 ,改善后的 HRTF数据对提高声源前后定位有明显的效果 ,表明 HRTF频谱中的峰点和谷点在声源前后定位中起着关键的作用。
赵自力黄成伟高宏李庆祥