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- 曹红超晋云霞汪瑞张益彬王云坤孔钒宇韩昱行
- 一种基于新型计量光栅的位移测量系统及方法
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- 尚平
- 计量光栅传感器超高测量分辨力探究及应用
- 2020年
- 计量光栅传感器主要用于线位移和角位移的测量。通过辨向电路对莫尔条纹的移动方向进行正确判断,莫尔条纹具有的位移放大作用和误差平均效应使计量光栅传感器具有较高的测量分辨力;对莫尔条纹进行的细分技术,进一步大大提高了计量光栅传感器的测量分辨力,从而使其达到纳米级超高测量分辨力。计量光栅传感器由于具有分辨力极高等一系列优点,因而在数控伺服系统、坐标镗床等高精度数控机床、高精度测试仪器、大规模集成电路制造设备等中被广泛应用。
- 秦常贵
- 关键词：莫尔条纹
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- 尚平
- 浅述计量光栅技术被引量：4
- 2014年
- 利用光栅的莫尔条纹原理,把计量光栅作为精密计量元件,广泛应用于仪器仪表及机床等方面,有利于实现测量的自动化、数字化以及动态测量,并有利于提高测量精度。本文主要从莫尔条纹原理、计量光栅系统设计、光栅细分技术等方面对计量光栅测量技术及其特点进行介绍。随着现代电子技术的发展,计量光栅技术被应用于更多更广泛的领域,并向着纳米级精度突破。
- 徐腾寅
- 关键词：计量光栅莫尔条纹
- 计量光栅可变步长实时扫描定位FPGA实现被引量：3
- 2013年
- 设计一种用现场可编程逻辑门阵列FPGA实现光栅可变步长扫描实时定位控制的方法;实现在扫描台连续运动的过程中,实时同步定位触发控制。用D触发器实现对光栅信号边沿提取进而实现光栅信号细分辨向电路,在此基础上实现可变步长实时扫描控制的方案。以Verilog HDL硬件描述语言为平台实现了该电路方案。该系统可用于扫描测量控制,可变步长定位控制。
- 卢明腾曹益平
- 关键词：莫尔条纹变步长VERILOG
- 计量光栅 第1部分:术语
- JB/T 9341的本部分规定了与计量光栅相关的光栅、莫尔技术、光栅数显技术、参数和技术指标的术语和定义。本部分适用于仪器仪表、机械制造和计量测试等领域中与计量光栅技术相关的标准制定、技术文件编制、教材和书刊编写及文献翻...
- 关键词：光学仪器显微镜光切显微镜
- 计量光栅 第2部分:数显表（卡）
- JB/T 9341的本部分规定了光学计量仪器使用的光栅数字显示表(卡)的分类、基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本部分适用于以计量光栅作为信号源的数字显示仪表(以下简称:数显表)和以计量光栅作为...
- 关键词：光学仪器显微镜光切显微镜
- 小议计量光栅测量技术应用
- 2012年
- 计量光栅形成的莫尔条纹对位移的光学放大作用，在位移精确测量领域有很高的工程价值。光栅线位移传感器得到很大发展，成为该领域关键技术。笔者结合多年工作经验，本文主要对计量光栅测量技术应用进行分析。
- 黄红常
- 关键词：计量光栅莫尔条纹光栅线位移传感器
- 电解加工对金属计量光栅表面粗糙度影响的研究
- 2012年
- 金属计量光栅通常采用电解加工的方式制作,由于具有传统K9玻璃、浮法玻璃和树脂基片等不可替代的优势,以其100%的透过率,和抗震、防尘、耐高温、耐腐蚀、重量轻的特性,被广泛应用在矿业、冶金、建材、化工、军工等行业中。电解加工是用电解方法使金属阳极溶解,可以获得较高的刻线准确度,但有时粗糙度有所下降。本文主要探讨电解加工对金属计量光栅表面粗糙度的影响,为提高金属计量光栅的表面质量提供机理参考。
- 王晓峰
- 关键词：表面粗糙度电解加工电导率
相关作者
- 曹向群
- 作品数：98被引量：323H指数：10
- 供职机构：浙江大学
- 研究主题：光栅 位置敏感探测器 PSD CMOS 计量光栅
- 曹艳波
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- 艾华
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- 廖艳春
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- 杨世雄
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