您的位置： 专家智库 > >

何建芳

作品数：19 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 6个电子电信
  • 5个自动化与计算...
  • 5个文化科学
  • 4个理学
  • 3个机械工程
  • 2个电气工程
  • 2个建筑科学
  • 2个交通运输工程
  • 2个一般工业技术
  • 1个经济管理
  • 1个化学工程
  • 1个金属学及工艺
  • 1个医药卫生
  • 1个农业科学

主题

  • 6个掩模
  • 5个电路
  • 5个掩膜
  • 5个氧化物
  • 5个像素
  • 4个等离子体
  • 4个电迁移
  • 4个电子设备
  • 4个多层膜
  • 4个掩模版
  • 4个掩膜版
  • 4个衍射
  • 3个导体
  • 3个电路制造
  • 3个掩膜板
  • 2个等离子
  • 2个电子束
  • 2个迭代
  • 2个对比度
  • 2个形态学处理

机构

  • 6个中国科学院微...
  • 1个北京理工大学
  • 1个清华大学

资助

  • 6个国家自然科学...
  • 5个国家科技重大...
  • 3个北京市自然科...
  • 2个上海市自然科...
  • 2个国家中长期科...

传媒

  • 5个微电子学
  • 5个微纳电子技术
  • 4个半导体技术
  • 3个光学学报
  • 3个微纳电子与智...
  • 2个激光与光电子...
  • 2个微电子学与计...
  • 1个电子技术应用
  • 1个电子科技大学...
  • 1个材料导报
  • 1个中国科学基金
  • 1个电子工业专用...
  • 1个激光与红外
  • 1个光通信研究
  • 1个中国科技成果
  • 1个信息与电子工...
  • 1个真空科学与技...
  • 1个科技创新导报
  • 1个中国光学
  • 1个前瞻科技

地区

  • 6个北京市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
韦亚一
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 掩模 版图 光源 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张利斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 掩模 光源 线条 套刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董立松
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 矢量 掩模 成像模型 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
粟雅娟
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 版图 石墨烯 掺杂 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王文武
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 刻蚀 纳米线 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈文辉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：EUVL 掩模 SMO 分辨率增强技术 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0