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王伟
作品数:
5
被引量:6
H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
陈威
中国电子科技集团公司第四十五研...
李伟
中国电子科技集团公司第四十五研...
柳滨
中国电子科技集团公司第四十五研...
王东辉
中国电子科技集团公司第四十五研...
郭强生
中国电子科技集团公司第四十五研...
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李伟
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 CMP设备 有限元分析
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所获资助
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柳滨
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 抛光液 半导体材料
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所获资助
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陈威
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP 有限元模型 有限元分析 300MM硅片
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供职机构
所获资助
研究领域
王东辉
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 氮化镓 半导体材料 碳化硅
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相关人物
供职机构
所获资助
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郭强生
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:粘片机 集成电路 视觉检测 发光二极管 伺服控制系统
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张继静
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:超声扫描 无损检测 化学机械抛光 声学 超声
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供职机构
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王文举
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:磁浮 步进电机控制系统 步进电机 AVR单片机 半导体设备
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所获资助
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