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宋晶
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4
被引量:13
H指数:3
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张伟才
中国电子科技集团公司第四十六研...
赵权
中国电子科技集团公司第四十六研...
杨洪星
中国电子科技集团公司第四十六研...
武永超
中国电子科技集团公司第四十六研...
秦学敏
中国电子科技集团公司第四十六研...
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赵权
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:抛光片 锗 单晶片 表面粗糙度 清洗技术
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张伟才
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 化学机械抛光 机械强度 IPA
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相关人物
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所获资助
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杨洪星
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:锗 单晶片 抛光片 晶片 表面粗糙度
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相关人物
供职机构
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秦学敏
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:化学腐蚀 粗糙度 光洁度 单晶片 特性分析
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于妍
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:粗糙度 化学腐蚀 碱性腐蚀 单晶片 硅单晶
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吕菲
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:粗糙度 抛光片 化学腐蚀 单晶片 锗
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武永超
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:超薄 化学机械抛光 半导体行业 激光技术 激光打标
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