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马健

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
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合作作者

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 5个上海市
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金超群
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：大量程 MEMS光开关 激光测距 镜面 差分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡小邦
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 镜面 调整架 测量方法 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宝喜
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张方
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光学系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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