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郝惠娟

作品数：3 被引量：3H指数：1
供职机构：山东大学控制科学与工程学院电子束研究所更多>>
发文基金：山东省自然科学基金山东省科技攻关计划国家自然科学基金更多>>
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地区

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共 3 条 记 录，以下是 1-3
张玉林
供职机构：中国石油大学（华东）
研究主题：电子束 电子束光刻 微机电系统 抗蚀剂 聚合酶链式反应
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孔祥东
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束 多层膜 波带片 聚焦离子束 X射线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢文娟
供职机构：山东大学
研究主题：电子束 电子束光刻 抗蚀剂 扫描隧道显微镜 电子束曝光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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