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刘子维

作品数：17 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 5个机械工程
  • 5个电子电信
  • 5个自动化与计算...
  • 5个理学
  • 4个一般工业技术
  • 4个文化科学
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  • 2个化学工程
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  • 2个建筑科学
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  • 1个电气工程
  • 1个水利工程
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主题

  • 5个带隙
  • 5个单级
  • 5个氮化
  • 5个氮化硼
  • 5个电镀
  • 5个电极
  • 5个电子束
  • 5个电子束光刻
  • 5个电子束蒸发
  • 5个电子束直写
  • 5个对准标记
  • 5个信号
  • 4个导波
  • 4个等离子体
  • 4个等离子体共振
  • 4个等离子体增强
  • 4个电磁
  • 4个电磁波
  • 3个单晶
  • 3个单晶硅

机构

  • 5个中国科学院微...
  • 2个兰州大学
  • 2个中国科学院微...
  • 1个北京大学
  • 1个南京大学
  • 1个北京工业大学
  • 1个北京航空航天...
  • 1个河北大学
  • 1个西安理工大学
  • 1个天津大学
  • 1个中国科学院

资助

  • 5个国家自然科学...
  • 4个国家高技术研...
  • 4个国家重点基础...
  • 4个应用光学国家...
  • 3个国家科技重大...
  • 1个北京市科技新...
  • 1个北京市自然科...
  • 1个国家科技攻关...
  • 1个吉林省科技攻...
  • 1个江苏省自然科...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个北京市科技计...
  • 1个国家杰出青年...
  • 1个教育部科学技...
  • 1个“九五”国家...
  • 1个国家攀登计划
  • 1个国家重大科学...
  • 1个国家重点实验...
  • 1个河北省自然科...
  • 1个全球变化研究...

传媒

  • 5个微纳电子技术
  • 4个光学精密工程
  • 4个光学学报
  • 4个第十二届全国...
  • 4个第十三届全国...
  • 4个中国光学学会...
  • 3个半导体技术
  • 3个科学通报
  • 3个Journa...
  • 3个物理学报
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  • 3个光电工程
  • 3个电子器件
  • 3个微细加工技术
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  • 2个物理
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  • 2个电子工业专用...
  • 2个功能材料与器...

地区

  • 5个北京市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
李海亮
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 衬底 衍射光栅 自支撑 大高宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛洁斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束曝光 衬底 电子束直写 衍射光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王冠亚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：衍射光栅 大高宽比 电子束光刻 芯片 入射光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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