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金超群
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3
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H指数:2
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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国家科技重大专项
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合作作者
杨宝喜
中国科学院大学
黄惠杰
中国科学院大学
胡小邦
中国科学院上海光学精密机械研究...
师中华
中国科学院大学
李璟
中国科学院上海光学精密机械研究...
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杨宝喜
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
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胡小邦
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 镜面 调整架 测量方法 光源
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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代传港
供职机构:中央民族大学理学院
研究主题:分束器 二维光子晶体 光子晶体 光学器件 滤波器
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李璟
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:衍射光学元件 光刻机 镜面 波带片 光源
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李予喜
供职机构:中央民族大学
研究主题:金属膜 光子晶体 气孔 透射特性 阵列
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王义全
供职机构:中央民族大学理学院
研究主题:光子晶体 硅基液晶 波长选择开关 光栅 二维光子晶体
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冯帅
供职机构:中央民族大学理学院
研究主题:光子晶体 介质柱 群速度 成像特性 时域有限差分方法
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师中华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:镜面 光源 光纤 调整架 测量方法
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马健
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:差分 测量方法
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