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凃佃柳

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 3个电子电信
  • 1个建筑科学

主题

  • 3个抛光
  • 3个抛光垫
  • 3个化学机械抛光
  • 3个机械抛光
  • 3个CMP
  • 2个修整器
  • 2个旋转木马
  • 2个原子力显微镜
  • 2个兆声清洗
  • 2个真空
  • 2个扫描电子显微...
  • 2个平坦化
  • 2个平整度
  • 2个去除率
  • 2个转塔
  • 2个晶圆
  • 2个晶圆清洗
  • 2个颗粒尺寸
  • 2个化学机械平坦...
  • 1个单点

机构

  • 3个中国电子科技...

资助

  • 1个北京市教育委...
  • 1个电子信息产业...

传媒

  • 3个微纳电子技术
  • 2个电子工业专用...
  • 1个半导体技术
  • 1个微细加工技术
共 3 条 记 录，以下是 1-3
周国安
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：CMP 化学机械平坦化 化学机械抛光 抛光液 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘多勤
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
詹阳
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：CMP 化学机械平坦化 抛光垫 承载器 ZETA电位
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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