2025年1月28日
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潘春晖
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
西北工业大学
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发文基金:
中国航空科学基金
西北工业大学基础研究基金
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
夏长锋
西北工业大学机电学院空天微纳系...
杨璇
西北工业大学机电学院空天微纳系...
曾琪
西北工业大学机电学院空天微纳系...
练彬
西北工业大学深圳研究院
乔大勇
西北工业大学机电学院空天微纳系...
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练彬
供职机构:西北工业大学深圳研究院
研究主题:扫描镜 谐振频率 静电驱动 光学器件 绝缘体上硅
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所获资助
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曾琪
供职机构:西北工业大学
研究主题:非线性动力学 静电驱动 转角 扫描镜 以太网
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所获资助
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杨璇
供职机构:西北工业大学
研究主题:沟道 刻蚀 静电驱动 扫描镜 氧化层
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供职机构
所获资助
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乔大勇
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 扫描镜 微机械 锚点
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供职机构
所获资助
研究领域
夏长锋
供职机构:西北工业大学
研究主题:扫描镜 MEMS 非线性动力学 静电驱动 测量系统
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