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陈洁

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
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机构

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地区

  • 5个北京市
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刘效岩
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：化学机械抛光 CMP 晶片 工艺技术 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴仪
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
滕宇
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶圆 二相流 石英 出口 超声波
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘伟
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶片 卡盘 半导体集成电路 清洗技术 晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯晓敏
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶圆 射孔 静电 清洗方法 气体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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