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王晓东
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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杨富华
中国科学院大学微电子学院
罗怡
大连理工大学机械工程学院精密与...
王立鼎
辽宁省微纳米技术及系统重点实验...
张涛
中国科学院大连化学物理研究所
刘雯
中国科学院半导体研究所
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杨富华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 谐振器
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罗怡
供职机构:大连理工大学
研究主题:微流控芯片 超声波 机器视觉 微热管 夹钳
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王立鼎
供职机构:北京四方继保自动化股份有限公司
研究主题:微流控芯片 微机电系统 精密齿轮 精密加工技术 齿轮
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张涛
供职机构:中国科学院大连化学物理研究所
研究主题:催化剂 单原子 催化 平台化合物 氢气压力
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刘雯
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:陷光结构 太阳电池 光吸收 场效应晶体管 量子点
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张明亮
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 热电器件 MEMS压力传感器 纳米线结构 谐振式
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张加勇
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:纳米尺寸 相变存储器 淀积 干法刻蚀 相变材料
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刘冲
供职机构:大连理工大学
研究主题:微流控芯片 微通道 芯片 微电铸 流控
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杨香
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 硅基 刻蚀 相变存储器 沟槽
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季安
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:湿法腐蚀 MEMS压力传感器 干法刻蚀 自对准 淀积
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