2024年12月26日
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何明轩
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10
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上海交通大学
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上海市科委纳米专项基金
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自动化与计算机技术
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合作作者
汪红
上海交通大学微纳科学技术研究院
丁桂甫
上海交通大学
卢歆
中国计量学院计量测试工程学院
李源
中国计量学院计量测试工程学院
赵小林
上海交通大学
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汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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李源
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:纳米测量机 MEMS 微机电系统 纳米 校准
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卢歆
供职机构:上海交通大学
研究主题:纳米测量机 高灵敏度 可变电容 微加工 电极
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赵小林
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微机电系统技术 电磁驱动
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凌行
供职机构:上海交通大学
研究主题:金刚石薄膜 介电性能 高灵敏度 可变电容 微加工
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刘瑞鸿
供职机构:上海交通大学
研究主题:差分 单轴 信号电路 加速度计 电容值
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陈欣
供职机构:上海交通大学
研究主题:自校准 标记点 工作台 位姿 最小二乘原理
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冯建智
供职机构:上海交通大学
研究主题:光开关 微型马达 微型机器人 MEMS 微继电器
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傅云霞
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:激光跟踪仪 光栅 纳米 测头 校准
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