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吕保斌
作品数:
42
被引量:44
H指数:3
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
机械工程
理学
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合作作者
白瑜
中国科学院西安光学精密机械研究...
邢廷文
中国科学院光电技术研究所
邓超
中国科学院光电技术研究所
廖志远
中国科学院光电技术研究所
朱红伟
中国科学院光电技术研究所
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白瑜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光学设计 数值孔径 光焦度 大数值孔径 红外光学系统
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邢廷文
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
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邓超
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:数值孔径 大数值孔径 光焦度 成像质量 像差
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廖志远
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:数值孔径 光焦度 大数值孔径 成像质量 投影物镜
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朱红伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:数值孔径 大数值孔径 光焦度 成像质量 像差
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林妩媚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差
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刘志祥
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:波像差 投影物镜 光学系统 大数值孔径 像差
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邢延文
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影物镜 光学系统 大数值孔径 像差 数值孔径
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陈红丽
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影物镜 高分辨率 光轴 光焦度 镜片
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冉英华
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:高分辨率 光轴 光焦度 镜片 光刻
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