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袁乔
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38
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H指数:3
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中国科学院上海光学精密机械研究所
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合作作者
黄惠杰
中国科学院大学
曾爱军
中国科学院上海光学精密机械研究...
张善华
中国科学院上海光学精密机械研究...
朱玲琳
中国科学院上海光学精密机械研究...
刘龙海
中国科学院上海光学精密机械研究...
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
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张善华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:干涉仪 面形 锥角 图像传感器 移相
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刘龙海
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 测量方法 计算机组成 锁相放大器 波片
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朱玲琳
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 波片 计算机组成 方位角 测量方法
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王莹
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:锥角 聚焦透镜 图像传感器 投影光刻机 分光镜
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杨宝喜
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
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方瑞芳
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光束 光刻 狭缝 移相 达曼光栅
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卢进军
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:棱镜 SCHMIDT 琼斯矩阵 偏振 别汉棱镜
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李凡月
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:偏振 波片 方位角 测量方法 测量范围
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