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邹志超

作品数：16 被引量：1H指数：1
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李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
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窦伟
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：离子注入 脉冲电源 等离子体 高密度等离子体 微电子领域
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵丽莉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 离子注入 衍射效率 菲涅耳波带片 注入机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗军
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 金属硅化物 衬底 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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