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邢延文
作品数:
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供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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合作作者
吕保斌
中国科学院光电技术研究所
刘志祥
中国科学院光电技术研究所
林妩媚
中国科学院光电技术研究所
廖志远
中国科学院光电技术研究所
朱红伟
中国科学院光电技术研究所
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吕保斌
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光焦度 大数值孔径 数值孔径 成像质量 投影物镜
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林妩媚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差
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刘志祥
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:波像差 投影物镜 光学系统 大数值孔径 像差
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朱红伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:数值孔径 大数值孔径 光焦度 成像质量 像差
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廖志远
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:数值孔径 光焦度 大数值孔径 成像质量 投影物镜
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白瑜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光学设计 数值孔径 光焦度 大数值孔径 红外光学系统
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邓超
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:数值孔径 大数值孔径 光焦度 成像质量 像差
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徐富超
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 移相 干涉仪 光学元件 平移
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范真节
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:偏振 光刻技术 波片 视场 光学系统设计
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