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鲍建飞
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供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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国际科技合作与交流专项项目
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相关领域:
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合作作者
黄惠杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
曾爱军
中国科学院上海光学精密机械研究...
黄立华
中国科学院上海光学精密机械研究...
彭雪峰
中国科学院上海光学精密机械研究...
杨宝喜
中国科学院上海光学精密机械研究...
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
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黄立华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:免疫层析 上转换发光 光刻机 试纸条 金标
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杨宝喜
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
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任冰强
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 光束 照明系统 光阑 焦斑
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张佩
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:气溶胶粒子 气溶胶 生物气溶胶 重金属 本征
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肖艳芬
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 离轴照明 微透镜阵列 分子激光器
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彭雪峰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:标定方法 光刻机 测量方法 衍射效率 衍射图样
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蔡舒窈
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:波片 衍射光栅 方位角 信号处理系统 起偏器
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朱玲琳
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 波片 计算机组成 方位角 测量方法
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