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闫坤坤
作品数:
13
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H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
王文东
中国科学院微电子研究所
夏洋
中国科学院微电子研究所
赵嵩卿
中国石油大学北京理学院
刘邦武
中国科学院微电子研究所
夏洋
中国科学院微电子研究所
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王文东
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子喷涂 SUB 等离子体喷涂 陶瓷涂层 大气等离子喷涂
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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赵嵩卿
供职机构:中国石油大学(北京)
研究主题:脉冲激光沉积 光探测器 电压测试 探测器 光生
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刘邦武
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子喷涂 SUB 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子表面冶金
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所获资助
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS 等离子体
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赵昆
供职机构:中国石油大学(北京)
研究主题:太赫兹 太赫兹时域光谱 太赫兹波 太赫兹光谱 岩石
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