2024年12月28日
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李凡月
作品数:
6
被引量:16
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
黄惠杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
曾爱军
中国科学院研究生院
朱玲琳
中国科学院研究生院
袁乔
中国科学院上海光学精密机械研究...
韩杰
中国科学院研究生院
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曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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朱玲琳
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 波片 计算机组成 方位角 测量方法
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供职机构
所获资助
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袁乔
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:测量方法 面形 锥角 干涉仪 起偏器
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供职机构
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王剑波
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:浊度 前置放大电路 浓度值 透射光 上转换发光
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供职机构
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胡中华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 离轴照明 光刻
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供职机构
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韩杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:偏振 生物气溶胶 相位调制 解码 大气气溶胶
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