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卜灵
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清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电气工程
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合作作者
伍晓明
清华大学信息科学技术学院清华信...
刘理天
清华大学信息科学技术学院清华信...
王晓红
清华大学信息科学技术学院清华信...
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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王晓红
供职机构:清华大学
研究主题:直接甲醇燃料电池 多孔硅 MEMS 微机械加工 微加工
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伍晓明
供职机构:清华大学
研究主题:石墨烯 驻极体 金属接触 介质层 静电式
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