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刘涛

作品数：54 被引量：25H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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李楠
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
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赵丽莉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 离子注入 衍射效率 菲涅耳波带片 注入机
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冷兴龙
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 薄膜封装 前驱体 白光干涉 激光干涉
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卢维尔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
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屈芙蓉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 前驱体 PIII 薄膜封装 腔体
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刘键
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 ALGAN/GAN_HEMT ALGAN/GAN 氮化碳薄膜 氮化碳
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景玉鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 气敏传感器 光刻胶 刻蚀 临界态
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李博
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SRAM 二次谐波 绝缘体上硅 背栅 反相器
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李国光
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：最小二乘法 光学常数 校准 校准方法 校准法
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