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闫桂珍

作品数：115 被引量：114H指数：7
供职机构：北京大学更多>>
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杨振川
供职机构：北京大学
研究主题：锚点 微机械 陀螺 电极 微机械陀螺
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郝一龙
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS 微机电系统 微电子机械系统 硅 加速度计
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赵前程
供职机构：北京大学
研究主题：锚点 陀螺 水平轴 检测电极 微机械
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郭中洋
供职机构：北京大学
研究主题：微机械 锚点 微机械陀螺 锁存 水平轴
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崔健
供职机构：北京大学
研究主题：陀螺 锚点 微机械陀螺 水平轴 电极
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王阳元
供职机构：北京大学
研究主题：场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
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刘雪松
供职机构：北京大学
研究主题：锚点 水平轴 陀螺 电容式 音叉
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吴文刚
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 MEMS 悬臂梁 各向异性刻蚀 聚焦离子束
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丁海涛
供职机构：北京大学
研究主题：锚点 水平轴 音叉 电容式 电容
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陈庆华
供职机构：北京大学
研究主题：微光 玻璃衬底 光反射 MEMS 悬臂梁
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