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孙裕文

作品数：13 被引量：19H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>

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共 9 条 记 录，以下是 1-9
宗明成
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：对焦 光刻机 工件台 硅片 镜筒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李世光
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 光刻 光刻机 工件台 极紫外
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄有为
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：污染物 标准气体 EUV 保护装置 靶材
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏志国
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：工件台 标准气体 衍射 弹簧 保护装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐天伟
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：EUV 光学元件 光刻机 污染物 电子学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王丹
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻机 形貌 工件台 硅片 调整装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武志鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 工件台 光刻机 光学元件 形貌
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：沟道 X射线光刻 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋泽宇
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：镜筒 对心 垂向 半导体制造 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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