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金钦华
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8
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
一般工业技术
机械工程
理学
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合作作者
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
李铁
中国科学院上海微系统与信息技术...
俞骁
中国科学院上海微系统与信息技术...
张志祥
中国科学院上海微系统与信息技术...
饶伏波
中国科学院上海微系统与信息技术...
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李铁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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俞骁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:各向异性腐蚀 单晶硅 硅片表面 纳米 硅片
发表作品
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研究领域
饶伏波
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:单壁碳纳米管 性能研究 含碳 化学气相沉积法 单壁
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供职机构
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张志祥
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:镍 含碳 化学气相沉积法 微悬臂梁传感器 单壁碳纳米管
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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许钫钫
供职机构:中国科学院上海硅酸盐研究所
研究主题:透射电镜 电极 电场 陶瓷 化学组成
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