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董立松
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92
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
韦亚一
中国科学院微电子研究所
李艳秋
北京理工大学光电学院光电成像技...
马旭
北京理工大学光电学院
张利斌
中国科学院微电子研究所
粟雅娟
中国科学院微电子研究所
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韦亚一
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 掩模 版图 光源 刻蚀
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李艳秋
供职机构:北京理工大学
研究主题:掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
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马旭
供职机构:北京理工大学
研究主题:光刻系统 成像模型 掩模 光源 矢量
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张利斌
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 掩模 光源 线条 套刻
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粟雅娟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 版图 石墨烯 掺杂 衬底
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何建芳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:掩模 光刻 光源 光刻工艺 仿真方法
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供职机构:中国科学院微电子研究所
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供职机构:北京理工大学
研究主题:成像模型 光源 光刻系统 抗侵彻性能 冲击波
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郭沫然
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 掩模 版图 光源 EUV
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陈颖
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 特征向量 光刻 坏点 采样点
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