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董立松

作品数:92 被引量:17H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信文化科学自动化与计算机技术理学更多>>

领域

  • 19个电子电信
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  • 13个理学
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  • 1个核科学技术

主题

  • 17个光刻
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  • 13个版图
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  • 5个对比度
  • 4个单元库
  • 4个导电
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  • 3个等离子体增强

机构

  • 14个中国科学院微...
  • 8个北京理工大学
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  • 2个中国科学院研...
  • 1个安徽大学
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资助

  • 16个国家自然科学...
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传媒

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地区

  • 22个北京市
22 条 记 录,以下是 1-10
韦亚一
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 掩模 版图 光源 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李艳秋
供职机构:北京理工大学
研究主题:掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马旭
供职机构:北京理工大学
研究主题:光刻系统 成像模型 掩模 光源 矢量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张利斌
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 掩模 光源 线条 套刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
粟雅娟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 版图 石墨烯 掺杂 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何建芳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:掩模 光刻 光源 光刻工艺 仿真方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘琦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 电路 电阻 非挥发性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高杰
供职机构:北京理工大学
研究主题:成像模型 光源 光刻系统 抗侵彻性能 冲击波
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭沫然
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 掩模 版图 光源 EUV
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈颖
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 特征向量 光刻 坏点 采样点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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