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滕宇

作品数：49 被引量：2H指数：1
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：文化科学医药卫生天文地球电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 6个电子电信
  • 4个文化科学
  • 3个石油与天然气...
  • 3个金属学及工艺
  • 3个自动化与计算...
  • 2个天文地球
  • 2个电气工程
  • 2个医药卫生
  • 2个一般工业技术
  • 1个经济管理
  • 1个生物学
  • 1个化学工程
  • 1个机械工程
  • 1个理学

主题

  • 7个声波
  • 6个污染
  • 6个污染物
  • 6个无损伤
  • 6个晶片
  • 6个晶圆
  • 5个单晶
  • 5个单晶圆
  • 5个喷淋
  • 5个清洗工艺
  • 5个均匀性
  • 4个单片
  • 4个电路
  • 4个易清洗
  • 4个喷淋装置
  • 3个氮气
  • 3个旋转体
  • 3个旋转轴
  • 3个循环处理
  • 2个带电

机构

  • 8个北京七星华创...
  • 1个河北工业大学

资助

  • 5个国家科技重大...
  • 1个国家自然科学...
  • 1个天津市自然科...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个国家中长期科...
  • 1个河北省教育厅...
  • 1个河北省自然科...

传媒

  • 5个半导体技术
  • 1个稀有金属材料...
  • 1个化工学报
  • 1个功能材料
  • 1个河北科技大学...
  • 1个电子工业专用...
  • 1个微纳电子技术
  • 1个电子设计工程

地区

  • 8个北京市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
吴仪
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李伟
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：出口 二相流 卡盘 硅片 液体流
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄金涛
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：超声波 压电材料 共振腔 石英 声波
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈洁
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：液膜 氮气 硅片表面 单片 去离子水
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯晓敏
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶圆 射孔 静电 清洗方法 气体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘伟
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶片 卡盘 半导体集成电路 清洗技术 晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许璐
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：均匀性 晶片 喷淋装置 直径 喷淋
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘效岩
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：化学机械抛光 CMP 晶片 工艺技术 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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