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周亚玲
作品数:
8
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
王晓东
中国科学院半导体研究所
付英春
中国科学院半导体研究所
杨富华
中国科学院半导体研究所
杨香
中国科学院半导体研究所
马刘红
中国科学院半导体研究所
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付英春
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:相变存储器 自对准 相变材料 干法刻蚀 淀积
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所获资助
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杨富华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 谐振器
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所获资助
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王晓东
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 纳米尺寸 相变材料 微装配
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供职机构
所获资助
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杨香
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 硅基 刻蚀 相变存储器 沟槽
发表作品
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供职机构
所获资助
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马刘红
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:相变存储器 自对准 硅基 晶体管 纳米线
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供职机构
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王晓峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:激光 激光退火 缓冲层 脉冲激光 相变存储器
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