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吴仪

作品数：163 被引量：3H指数：1
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张豹
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：卡盘 夹持 硅片 晶片 机械手
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘效岩
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：化学机械抛光 CMP 晶片 工艺技术 硅片表面
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滕宇
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶圆 二相流 石英 出口 超声波
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
初国超
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：储液罐 超微 超纯水 雾化液 雾化
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李伟
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：出口 二相流 卡盘 硅片 液体流
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马嘉
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：压力传感器 工艺过程 晶片 卡盘 声波换能器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯晓敏
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶圆 射孔 静电 清洗方法 气体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姬丹丹
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 卡盘 夹持 晶片 种盘
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴立坤
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王波雷
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 硅片清洗 夹持 旋转轴 卡盘
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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