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张晓红
作品数:
25
被引量:5
H指数:2
供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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相关领域:
金属学及工艺
动力工程及工程热物理
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
张豹
北京七星华创电子股份有限公司
吴仪
北京七星华创电子股份有限公司
赵宏宇
北京七星华创电子股份有限公司
韩雷刚
北京七星华创电子股份有限公司
裴立坤
北京七星华创电子股份有限公司
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北京市
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张豹
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:卡盘 夹持 硅片 晶片 机械手
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所获资助
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吴仪
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
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所获资助
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赵宏宇
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶圆 机械手 支撑脚 占地面积 半导体工艺设备
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相关人物
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韩雷刚
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:分配器 回收 中间层 吹气 串级
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裴立坤
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化
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王波雷
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 硅片清洗 夹持 旋转轴 卡盘
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李伟
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:出口 二相流 卡盘 硅片 液体流
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白德海
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:旋转轴 辐条 夹持 卡盘 卡紧
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韩丽娜
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:垂直入射 弹性力 风机 拉伸弹簧 卡盘
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昝威
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:管路 处理系统 分析仪 化学制剂 切换
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