您的位置： 专家智库 > >

赵宏宇

作品数：54 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 11个自动化与计算...
  • 6个电子电信
  • 6个文化科学
  • 5个金属学及工艺
  • 3个一般工业技术
  • 2个天文地球
  • 2个机械工程
  • 2个电气工程
  • 2个医药卫生
  • 2个理学
  • 1个经济管理
  • 1个石油与天然气...
  • 1个动力工程及工...

主题

  • 12个机械手
  • 12个硅片
  • 11个半导体
  • 9个污染
  • 9个密封
  • 8个气动
  • 8个自动化
  • 7个清洗工艺
  • 7个控制器
  • 6个导轨
  • 6个电路
  • 6个药液
  • 6个支撑脚
  • 5个弹簧
  • 5个底面
  • 5个电机
  • 5个自动化控制
  • 5个自动化控制技...
  • 4个端面
  • 4个旋转体

机构

  • 14个北京七星华创...

资助

  • 1个国家科技重大...

传媒

  • 2个电子工业专用...
  • 1个半导体技术

地区

  • 14个北京市
共 14 条 记 录，以下是 1-10
裴立坤
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李广义
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：支撑脚 机械手 螺母 晶圆 占地面积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐俊成
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 密封 支撑脚 机械手 导轨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张豹
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：卡盘 夹持 硅片 晶片 机械手
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙文婷
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 半导体工艺设备 浮尘 风机机组 监测系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高浩
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：导轨 机械手 密封 硅片 存取
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张晓红
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：夹持 机械手 气源 卡盘 晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴仪
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王营营
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：储液罐 紧固件 螺母 存储装置 超纯水
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李伟
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：出口 二相流 卡盘 硅片 液体流
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0