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王营营
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供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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相关领域:
文化科学
自动化与计算机技术
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合作作者
裴立坤
北京七星华创电子股份有限公司
何金群
北京七星华创电子股份有限公司
初国超
北京七星华创电子股份有限公司
李广义
北京七星华创电子股份有限公司
赵宏宇
北京七星华创电子股份有限公司
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裴立坤
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化
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何金群
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 补液 循环泵 气动阀 管路
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初国超
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 超微 超纯水 雾化液 雾化
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李广义
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:支撑脚 机械手 螺母 晶圆 占地面积
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徐俊成
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 密封 支撑脚 机械手 导轨
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赵宏宇
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶圆 机械手 支撑脚 占地面积 半导体工艺设备
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高浩
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:导轨 机械手 密封 硅片 存取
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吴仪
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
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