您的位置: 专家智库 > >

领域

  • 7个自动化与计算...
  • 4个电子电信
  • 3个文化科学
  • 2个金属学及工艺
  • 2个机械工程
  • 2个医药卫生
  • 2个一般工业技术
  • 2个理学
  • 1个经济管理
  • 1个天文地球
  • 1个石油与天然气...
  • 1个电气工程

主题

  • 8个硅片
  • 7个密封
  • 6个清洗机
  • 6个晶圆
  • 5个导轨
  • 5个通孔
  • 5个铜互连
  • 5个清洗工艺
  • 5个转轴
  • 5个自动化
  • 5个螺母
  • 4个弹簧
  • 4个旋转轴
  • 4个占地面积
  • 4个支撑脚
  • 3个底面
  • 3个电机
  • 3个调平
  • 3个氧化炉
  • 3个锁紧

机构

  • 8个北京七星华创...

资助

  • 1个国家科技重大...

传媒

  • 1个半导体技术
  • 1个电子工业专用...

地区

  • 8个北京市
8 条 记 录,以下是 1-8
裴立坤
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何金群
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 补液 循环泵 气动阀 管路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
初国超
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 超微 超纯水 雾化液 雾化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李广义
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:支撑脚 机械手 螺母 晶圆 占地面积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐俊成
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 密封 支撑脚 机械手 导轨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵宏宇
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶圆 机械手 支撑脚 占地面积 半导体工艺设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高浩
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:导轨 机械手 密封 硅片 存取
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴仪
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
聚类工具0