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孙月峰

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兰云峰
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体 卡紧 自定位 瓶体 锐角
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李春雷
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:前驱物 三氧化二铝 原子层沉积 预热 衬底
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赵星梅
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:立式 氧化炉 炉体 硅片 晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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