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初国超
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供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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电子电信
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理学
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合作作者
吴仪
北京七星华创电子股份有限公司
裴立坤
北京七星华创电子股份有限公司
何金群
北京七星华创电子股份有限公司
王营营
北京七星华创电子股份有限公司
刘效岩
北京七星华创电子股份有限公司
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吴仪
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
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裴立坤
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化
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何金群
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 补液 循环泵 气动阀 管路
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王营营
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 紧固件 螺母 存储装置 超纯水
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刘效岩
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:化学机械抛光 CMP 晶片 工艺技术 硅片表面
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张豹
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:卡盘 夹持 硅片 晶片 机械手
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王浩
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:卡盘 薄片 夹紧 卡爪 气体
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马嘉
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:压力传感器 工艺过程 晶片 卡盘 声波换能器
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刘海晓
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:半导体晶片 工艺技术 超微 雾化液 雾化
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徐能
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 超压 补气 供液 多孔板
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